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Optisches Analogon (Inkrementalmaßstab mit Abtastinterferometer), Fa. Heidenhain

 

Mit Hilfe der Messgenauigkeit der interferometrischen Maßstabmesssysteme können Werkzeugmaschinen, wie z.B. Diamantdrehmaschinen Oberflächen höchster Güte herstellen.

 


Das interferentielle Maßstabmesssystem ist das optische Analogon zum Röntgeninterferometer. Es besteht im wesentlichen aus einem Gittermaßstab und einem Abtastkopf. Bei Bewegung des Gitters kommt es in den Beugungsordnungen eines Beleuchtungsstrahls zu unterschiedlichen Phasenverschiebungen des Lichts. Wenn zwei verschiedene Beugungsordnungen überlagert werden, ergibt sich ein Interferenzsignal wie bei einem Michelson-Interferometer, so daß eine Verschiebung des Gittermaßstabes relativ zum Abtastkopf bestimmt werden kann. Zur Zeit sind Maßstäbe mit Gitterperioden von 0,5 µm lieferbar. Durch elektronische Interpolation können Messschritte im Bereich von 0,1 nm realisiert werden. Interferometrische Maßstabmesssysteme sind mit Längen bis zu 3 m verfügbar.

 

Aussteller

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH


Adresse und Ansprechpartner

Dr.-Johannes-Heidenhain-Straße 5
83301 Traunreut

Tel.: 08669/31-0


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