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Beschleunigungssensor

 

Mikrotechnisch hergestellte Beschleunigungssensoren gewinnen in letzter Zeit immer mehr an Bedeutung. Breite Anwendung finden sie in der Automobilindustrie, wo sie als Sensoren für das Auslösen des Airbags im Kraftfahrzeug eingesetzt werden. Die Anforderungen an diese Sensoren sind bezüglich ihrer Empfindlichkeit relativ gering, da die zu detektiernden Beschleunigungen sehr groß sind. Für komplexere Anwendungen, wie z. B. Inertialsysteme reichen die diese Sensoren nicht aus.

 


Am Institut für Mikrotechnik wird an der Entwicklung hochempfindlicher Beschleunigungssensoren gearbeitet. Als Messmethode wird das Prinzip der seismischen Masse genutzt. Die Sensoren werden mit Hilfe der anisotropen naßchemischen Ätztechnik aus Silizium hergestellt. Der Aufhängungen der seismischen Masse kommt dabei eine große Bedeutung zu, da sie wesentlichen Einfluß auf das mechanische Verhalten des Sensors hat. Die Optimierung der Aufhängungen mittels FEM führte zu unterschiedlichen Designs.
Die Auslenkung der seismischen Masse wird mit kapazitiven Sensoren gemessen.

Internet-Link zum Exponat

 

Aussteller

Institut für Mikrotechnik
Technische Universität Braunschweig


Adresse und Ansprechpartner

Alte Salzdahlumer Straße 203
38124 Braunschweig
Tel: 0531/391-9765
Fax: -9751

Frau Leester-Schädel


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